高度輝度ハロゲンタイプ

高輝度ハロゲン光源装置はクリーンロームで半導体ウエハー表面の品質管理する欠けない工具であり、高輝度の照明で表面にある0.2μmの粒子を判別できます。

特徴

1. ウエハー表面を40万Lx以上の照明することができます。
2. 照射範囲　　30㎜Φ・・・・・・・YP‐150I

       　　　　　60㎜Φ・・・・・・・YP‐250I