半導体製品 #半導体設備 高度輝度ハロゲンタイプ 高輝度ハロゲン光源装置はクリーンロームで半導体ウエハー表面の品質管理する欠けない工具であり、高輝度の照明で表面にある0.2μmの粒子を判別できます。特徴 ウエハー表面を40万Lx以上の照明することができます。 照射範囲 30㎜Φ・・・・・・・
